RTP快速退火爐
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
RTP90采用紅外加熱方式,雙管設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu),外管進(jìn)氣內(nèi)管出氣。爐膛燒結(jié)完畢后可自動(dòng)移開,達(dá)到快速降溫的目的,樣品托架可以水平移除,方便拿取樣品?商幚4英寸的樣品,可通氣氛和抽真空燒結(jié)。
主要參數(shù)
型號(hào) | QJ1100-RTP90 |
最高溫度 | 1050℃ |
工作溫度 | ≤1000℃ |
升溫速率 | 50℃/s |
加熱區(qū)長(zhǎng)度 | 300mm |
恒溫區(qū)長(zhǎng)度 | 150mm |
石英管管徑 | 110mm |
控溫方式 | 30段PID程序控溫 |
控溫精度 | ±1℃ |
加熱元件 | 紅外燈管 |
功率 | 220V/12kw |
爐體尺寸 | 800*540*750mm |