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    PECVD系統(tǒng)

     

    產(chǎn)品簡介

    為了降低化學沉積溫度，利用了等離子體的活性來促進反應(yīng)，這種CVD系統(tǒng)稱之為等離子體增強型化學氣相沉積系統(tǒng)（PECVD），該設(shè)備可以根據(jù)氣體的種類數(shù)量、射頻功率大小、氣體是否需要預(yù)熱、沉積所需溫區(qū)隨意定制。

     

    主要參數(shù)

    型號

    QJ1200-PE60

    QJ1200-PE60Y

    工作溫度

    ≤1000℃

    ≤1000℃

    升溫速率

    10℃/min

    10℃/min

    氣體預(yù)熱區(qū)

    無

    200mm

    沉積區(qū)長度

    200mm

    440mm

    恒溫區(qū)長度

    100mm

    220mm

    石英管管徑

    50/60mm

    50/60/80/100mm

    控溫方式

    30段PID程序控溫

    30段PID程序控溫

    射頻功率

    100/300/500W自匹配

    100/300/500W自匹配

    射頻頻率

    13.56Mhz

    13.56Mhz

    真空泵抽速

    4L/s

    4L/s

    真空度

    ≤10Pa

    ≤10Pa

    進氣種類

    1~4種

    1~4種

    功率

    220V/4kw

    220V/7kw